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具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,凈化工程公司但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,凈化工程公司但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,凈化工程公司特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。
根據(jù)中國(guó)建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》而進(jìn)行的測(cè)定資料,在65dB(A)以下時(shí),只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí),其影響對(duì)工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平;在60dB(A)以下說(shuō)話清楚滿意.60~75dB(A)時(shí)有一定困難,犬于75dB很困難。凈化工程公司因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜,此時(shí)可使高煩惱率小于30%;保證一般通話.
凈化工程公司在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),凈化工程公司也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)高效過(guò)濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
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